摘要 ozuIwzi7N  
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對(duì)于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個(gè)重要問題。對(duì)于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個(gè)例子展示了使用嚴(yán)格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對(duì)傾斜光柵進(jìn)行優(yōu)化。對(duì)于預(yù)定義方向的級(jí)次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 58PKx5`D  
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建模任務(wù) W%WC(/hor  
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1階的參數(shù)優(yōu)化 boIVU`F-!  
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結(jié)果-容差分析 `[&v  
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結(jié)果-容差分析 @T_O6TcY  
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在VirtualLab Fusion中查看 \1~I04'=  
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VirtualLab Fusion的工作流程 &
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•構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) 9X.gg$P  
- 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例] _m" ^lo  
- 傾斜光柵的高級(jí)配置[用例] Na-q%ru  
•分析光柵衍射效率 e`vUK.UoW  
- 光柵級(jí)次分析器[用例]