1.摘要
1Yq!~8 9i:L&dN 白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高
精度測量。利用一個邁克爾遜干涉儀
系統(tǒng)和一個氙燈
光源在VirtualLab Fusion中
仿真了一個白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等
光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時才會出現(xiàn)干涉圖樣。
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*tA1az-jO *;W+>W 2. 建模任務(wù)
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RqL9t #<fRE"v:Q 3. 干涉條紋的變化
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!|(-=2` ijv(9mR 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion
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