摘要 "aT"o l|jb}9(J 共聚焦掃描
顯微鏡在 1950 年代由 M. L. Minsky 發(fā)明并獲得
專利,后來又以采用
激光作為
光源的新穎性獲得了廣泛的應(yīng)用。 通過使用空間針孔來阻擋從焦平面外散射或反射的光,有助于提高縱向
分辨率和對比度。 在本例中,我們在
VirtualLab Fusion 中構(gòu)建了一個(gè)共聚焦掃描顯微鏡,并使用具有交替脊和凹槽的金屬
光柵作為測試對象來演示其工作
原理。
sKCfI] K?J?]VCw 建模任務(wù) |'+ [ ' V#Pz`D 共聚焦掃描顯微鏡是如何工作的,它如何檢測物體橫向位移導(dǎo)致的
功率變化?
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u!~l 焦點(diǎn)區(qū)域的探測場 wJ>.I<F6B ^`*p;&(K\^ PrQs_tNi 測試對象的直接反射 vyhxS