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Zemax光學設(shè)計從入門到精通	Zemax光學設(shè)計從基礎(chǔ)到實踐	成像衍射光學元件設(shè)計及應(yīng)用	現(xiàn)代光學與光子學技術(shù)
訊技光電:VirtualLab Fusion獨家供應(yīng)商	微小光學與微透鏡陣列	光學設(shè)計與光學元件	計算光學帶來的成像革命

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[技術(shù)]TRCX：摻雜過程分析 [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2024-02-29

在 LTPS 制造過程中，使用自對準掩模通過離子注入來金屬化有源層。當通過 TRCX 計算電容時，應(yīng)用與實際工藝相同的原理。工程師可以根據(jù)真實的 3D 結(jié)構(gòu)提取準確的電容，并分析有源層離子注入前后的電位分布，如下圖所示。