摘要                                                                             q[Ai^79  
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由于制造過程中潛在的不準(zhǔn)確性，對于一個好的光柵設(shè)計來說，面對光柵參數(shù)的微小變化，提供穩(wěn)健的結(jié)果是至關(guān)重要的。VirtualLab Fusion為光學(xué)工程師提供了各種工具，可以將這種行為直接納入優(yōu)化過程，例如參數(shù)變化分析儀。該工具結(jié)合了同一系統(tǒng)的多次迭代，在優(yōu)化過程中實現(xiàn)了評價函數(shù)的表示和自動計算，如平均效率。在這個用例中，我們通過稍微改變填充因子來優(yōu)化傾斜光柵來演示這個特性。             f,O10`4s  
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仿真任務(wù)                                                                             EP38Ho=[  
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連接建模技術(shù):傾斜光柵 6Jgl"Jw8  
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可用的微結(jié)構(gòu)建模技術(shù): 1XN%&VR>^D  
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