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激光干涉儀：機(jī)床導(dǎo)軌平行度垂直度精密測(cè)量工具  激光干涉儀是一種利用激光干涉原理進(jìn)行測(cè)量的精密儀器。廣泛應(yīng)用于光學(xué)、機(jī)械、電子等各種領(lǐng)域的測(cè)量。其中，平行度和垂直度的測(cè)量是激光干涉儀的重要應(yīng)用之一。 傳統(tǒng)的測(cè)量方法通常采用機(jī)械測(cè)量或光學(xué)測(cè)量，但這些方法存在著精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點(diǎn)。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點(diǎn)，能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測(cè)量。  激光干涉儀平行度測(cè)量原理 平行度測(cè)量是在直線度測(cè)量的基礎(chǔ)上而擴(kuò)展的應(yīng)用。平行度測(cè)量由平行軸的兩組直線度測(cè)量組成，參見(jiàn)下面平行度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整。由第1運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ1中減去第2運(yùn)動(dòng)軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。  平行度測(cè)量配置及應(yīng)用 平行度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線度鏡組（或長(zhǎng)直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測(cè)量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。  |
