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上海光機(jī)所在大口徑衍射透鏡標(biāo)定方面取得進(jìn)展

發(fā)布:cyqdesign 2023-10-12 22:32 閱讀:1080
近日,中科院上海光機(jī)所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室針對(duì)大口徑衍射透鏡提出了一種單次曝光的干涉標(biāo)定方法,為大口徑衍射透鏡的工程應(yīng)用提供了有力支撐。相關(guān)成果發(fā)表在Optics Letters上。 OYt_i'Q  
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相對(duì)于折反式聚焦透鏡,衍射光學(xué)元件設(shè)計(jì)靈活、口徑大、重量輕、適用于各個(gè)波段,且能夠?qū)崿F(xiàn)復(fù)雜的光學(xué)功能,而光子篩和波帶片是衍射透鏡的典型代表?紤]到衍射元件由大量微結(jié)構(gòu)組成,加工過程難免產(chǎn)生偏差,所以使用前需要標(biāo)定性能。 hx&fV#m  
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圖1.大口徑衍射透鏡的測(cè)量光路 syg{qtBz^  
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圖2.自研的剪切干涉儀與測(cè)量的實(shí)驗(yàn)結(jié)果
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在本項(xiàng)研究中,研究人員利用大口徑衍射透鏡的天然背景光作為基準(zhǔn),與聚焦光束共同進(jìn)入剪切干涉系統(tǒng);谔綔y(cè)器記錄的干涉圖,先用傅立葉分析獲取聚焦光束相對(duì)于背景光的波前梯度,再用模式法復(fù)原出透射波前,最后數(shù)值計(jì)算出衍射透鏡的焦距和焦斑形貌。210毫米口徑衍射透鏡的實(shí)驗(yàn)結(jié)果符合理論預(yù)期。超大口徑的波帶片和光子篩可用于太空干涉望遠(yuǎn)鏡。自支持結(jié)構(gòu)的分束光子篩適用于EUV和軟x射線的聚焦成像。多焦光子篩可用于等離子體的x射線干涉診斷。 2IW!EUR  
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