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    [技術(shù)]使用自定義的評(píng)價(jià)函數(shù)優(yōu)化高NA分束器 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-08-09
    摘要 GTxk%   
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     RPbZ(.  
    由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關(guān)系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設(shè)計(jì)，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準(zhǔn)確性，因此，如果不進(jìn)行額外嚴(yán)格的后優(yōu)化，至少建議進(jìn)行嚴(yán)格的分析。在這個(gè)用例中，使用奇數(shù)衍射級(jí)對(duì)典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴(yán)格的評(píng)估。為此，對(duì)初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評(píng)價(jià)函數(shù)。對(duì)于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴(yán)格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。  LFV%&y|L  
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    建模任務(wù) :Llb< MY2  
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     m(P]k'ZH?  
    衍射分束面初始設(shè)計(jì)(*) 62NsJ<#>  
    N6TH}~62}  
     :rP=t ,  
    #lO Mm9  
    1. 采用VirtualLab Fusion的迭代傅里葉變換算法(IFTA)設(shè)計(jì)工具計(jì)算了分束器的初始相位函數(shù)。 I( Mm?9F  
    2. 對(duì)于高度輪廓的轉(zhuǎn)換，采用了基于薄元件近似(TEA)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。 "9807OME  
    ~F#j#n(=`q  
    (*)不是這個(gè)用例的一部分 (**)這些會(huì)話編輯器在衍射光學(xué)工具箱銀版中可用。 !d T4  
     l}P=/#</T  
    TEA和等距抽樣結(jié)構(gòu)的局限性 _t