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摘要 ~zi6wu(3
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pi q %b] 由于相位和結(jié)構(gòu)之間的直接關系，衍射分束鏡通常采用一定的傍軸近似來設計，這些算法也提供了這種近似，反之亦然。在非傍軸或甚至高NA分束器的情況下，這些近似將引入一些不準確性，因此，如果不進行額外嚴格的后優(yōu)化，至少建議進行嚴格的分析。在這個用例中，使用奇數(shù)衍射級對典型的二元1:6分束器執(zhí)行這樣嚴格的評估。為此，對初始系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進行了參數(shù)化，并通過可編程光柵分析器定義了一組自定義的評價函數(shù)。對于參數(shù)優(yōu)化和后續(xù)的公差分析，使用嚴格的傅里葉模態(tài)法 (FMM)。 H\W60|z9
CA7tI >y_ 建模任務 =&U JFu
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 UaiDo" i
_]E"hr6a 衍射分束面初始設計(*) \kF}E3~+#
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