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摘要 m@c\<-P '_M"yg6d 組件內(nèi)部光場(chǎng)分析器: FMM使用戶能夠研究微觀和納米結(jié)構(gòu)內(nèi)的電磁場(chǎng)分布。為此,通過應(yīng)用傅里葉模態(tài)法/嚴(yán)格耦合波分析(FMM/RCWA)計(jì)算任意周期結(jié)構(gòu),包括透射和反射光柵、介電或金屬光柵。也可以指定領(lǐng)域的哪一部分應(yīng)該可視化:正向模式,反向模式,或兩者結(jié)合。 c ^+{YH;k ;LFs.Jc< }woNI $mDlS 尋找組件內(nèi)部光場(chǎng)分析器: FMM oAq<ag\qV tq8rG@-C ;fKFmY41 CDDOm8 組件內(nèi)部光場(chǎng)分析器: FMM是光柵光學(xué)設(shè)置的專用功能,它提供了光柵結(jié)構(gòu)內(nèi)部電磁場(chǎng)的可視化。 wb (quu %1PNP<3r0 `BKV/Xl 評(píng)估模式 CW;=q[+w y/6%'56uF %b3s|o3An 5|bc*iqU 評(píng)估區(qū)域 +FlO_=Bu eQ eucmQd{ NR0fxh !I[|\ 4j 光柵類型 ~V!gHJ5M q5ja \ H6%%n
X V.kRV{43 光柵表面的采樣 o"e]9{+< -|3feYb' xa|/P#q tG(!d$^ 光柵表面的采樣 =S}SZYwl ;UDd4@3`S" ?CUGJT
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