本案例計算從傳輸中得到的衍射光學元件的高度分布和結構數(shù)據的產生 關鍵詞：衍射光學，衍射光學元件，結構數(shù)據，GDSII，ASCII，位圖 所需工具箱：Diffractive Optics Toolbox Basic；Tutorial在試用版本中不可用。聯(lián)系LightTrans或者當?shù)亟涗N商可申請一段全版本的試用。 相關Tutorials：DO.1; DO.2; DO.3; DO.4; DO.5; DO.7; LBS.1; LBS.2 建模任務 
照射光束強度 衍射擴散器 產生的光圖樣強度 建模任務 
² 擴散器參數(shù)： —相位層：4 —像素尺寸：830*830nm —口徑：1*1mm —周期：664,83*664,83um ² 結構數(shù)據輸出為二進制格式 ² 需要的高度分布計算 ² 蝕刻掩模分解 ² 蝕刻掩模輸出為位圖和GDSII文件 打開光學擴散器系統(tǒng)  ² 上載文件 DO.008_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_01.lpd. ² 文件在VL_Samples文件夾中 光學擴散器系統(tǒng) 
 ² 點擊Go!按鈕開始模擬擴散器系統(tǒng). 模擬結果 
² 擴散器系統(tǒng)產生的光圖樣強度分布 傳輸器提取 ² 雙擊光路徑圖中的Stored Transmission打開編輯對話框 傳輸器(transmission)提取 
² 點擊Show按鈕顯示光路中的transmission. 擴散器傳輸 
 ² 點擊Cancel按鈕 結構數(shù)據的產生 
² 點擊窗口上部以激活窗口 ² 點擊設計菜單中Structure Design 結構數(shù)據的產生 
² 該結構設計對話框計算采用薄元件近似的傳輸相位得到的高度分布 ² 近似對于大于5個波長的有效。對于越小的越不精確。 ² 選擇Target File Export以產生結構數(shù)據 結構數(shù)據的產生 
² 對話框可以計算微小結構透明板和鏡面.² 選擇Height Profile of Transparent Plate. 結構數(shù)據的產生 ² 設置正確的襯底和覆蓋材料 ² 點擊Set按鈕 結構數(shù)據的產生 ² 對話框顯示所有打開的材料文件的菜單 ² 如果沒有想要的材料文件打開，點擊Load from Catalog 按鈕從catalog中得到材料.結構數(shù)據的產生 
² 選擇材料目錄Miscellaneous ² 選擇材料PMMA ² 點擊Load按鈕.結構數(shù)據的產生 
² 輸入設計波長 ² 如果衍射元件包含不連續(xù)高度層的高度分布，開啟Enfore Quantization， ² 輸入層數(shù)4 結構數(shù)據的產生 
² 結構設計對話框顯示需要調節(jié)的高度分布的深度使產生2pi相位差（一個波長） ² 另外，可以查看考慮到特定層數(shù)的高度分布圖調節(jié)深度 結構數(shù)據的產生 ² 下面部分可以定義結構的數(shù)據格式 ² VirtualLab產生兩種不同類型的文件： —參數(shù)匯總文件包括大部分輸入參數(shù)的概括，如蝕刻深度，設計波長，元件名稱等等。數(shù)據可以存儲為.xml, .html或者.txt文件。 —表面數(shù)據文件包括高度數(shù)據。數(shù)據可以存儲為位圖（bitmap）,GDSII或者ASCII文件。 結構數(shù)據的產生 ² 選擇你想要創(chuàng)建的參數(shù)匯總文件 ² .xml文件是強制的和需要再次輸入到Virtuallab中 結構數(shù)據的產生 
² 有效的文件類型依賴于制造技術 ² 對于灰度印刷反選Use Layers. 高度分布數(shù)據可以存儲在位圖或Text格式（和ASCII格式） ² 對于二進制掩模技術選中Use Layers。不同層的數(shù)據可以存儲在bitmap和GDSII文件中。 ² 選擇Bitmap和GDSII Data。 結構數(shù)據的產生  ² 點擊Ok按鈕
結構數(shù)據的產生 ² 出現(xiàn)一個保存對話框² 選擇你要保存的文件夾輸入有效文件名 ² 所有的數(shù)據文件可以有相同的名字而不同的擴展名² 文件包含的蝕刻掩模(etching mask)的數(shù)據將在文件名中有附加的掩模（層layer）數(shù).Mask 1表示最深的蝕刻步. 輸出數(shù)據結果 數(shù)據輸出結果 
² 打開Windows Explorer到VL_Samples文件夾 ² 雙擊DO.8_Generation_of_DOE_Fabrication_Data_02.xml file. ² Internet Explorer將顯示文件 數(shù)據輸出結果 
² 該XML文件包含了所有參數(shù)的匯總并連接所有產生的表面數(shù)據文件 結論 ² VirtualLab包含一個從傳輸器（transmission）中計算高度分布的結構設計 ² 高度分布可以被輸出。VirtualLab包含結構數(shù)據的不同文件格式（GDSII，ASCII，Bitmap格式）。 | 
