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    [技術]SiO2膜層的可變角橢圓偏振光譜（VASE）分析 [復制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-08
    可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）是一種常用的技術，由于其對光學參數(shù)的微小變化具有高靈敏度，而被用在許多使用薄膜結構的應用中，如半導體、光學涂層、數(shù)據(jù)存儲、平板制造等。在本用例中，我們演示了VirtualLab Fusion中的橢圓偏振分析器在二氧化硅（SiO2）涂層上的使用。對于系統(tǒng)的參數(shù)，我們參考Woollam等人的工作 "可變角度橢圓偏振光譜儀（VASE）概述。I. 基本理論和典型應用"，并研究該方法對輕微變化的涂層厚度有多敏感。 %-NG eN8  
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    任務描述 TiI3<.a!  
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    鍍膜樣品 yf e4}0}  
    關于配置堆棧的更多信息。 G0x!:[  
    利用界面配置光柵結構 o7:"Sl2AD  
    一般光柵組件能夠對周期性結構進行建模。在各向同性的情況下，使用一個非常小的周期，以確保只有0階會傳播。二氧化硅層也是根據(jù)參考文獻來定義的。 .OF2O}  
    - 涂層厚度：10納米 28xLaob  
    - 涂層材料。二氧化硅 LO ,k'gg<  
    - 折射率：擴展的Cauchy模型。 )7N$lY<  
    ]LSlo593  
    𝐴 = 1.44, 𝐵 = 0.00422𝜇𝑚², 𝐶 = 1.89𝐸 - 05𝜇𝑚4 JB!KOzw  
    - 基板材料：晶體硅 =Xb:.  
    - 入射角度。75° v;R+{K87  
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    橢圓偏振分析儀 GG`;c?d@  
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    橢圓偏振分析儀用于計算相位差𝛥，以及反射光束的振幅分量Ψ。 (0bXsfe  
    有關該分析儀的更多信息可在這里找到。 e&XJK*Wf   
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    橢圓偏振分析儀     fmk(}  
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    總結 - 組件... 7.1FRxS  
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    橢圓偏振系數(shù)測量 ndB*^nT  
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    橢圓偏振分析儀測量反射系數(shù)（s-和p-極化分量）的比率𝜌，并輸出相位差𝛥，以及振幅分量Ψ，根據(jù) [%BWCd8Q~P  
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