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    [技術(shù)]F-Theta掃描透鏡的性能評(píng)估 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-05-06
    摘要 -oo&8  
                                             s@^ (1g[w`  
    F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的激光材料加工系統(tǒng)。使用這種透鏡，聚焦光斑沿目標(biāo)平面的位移與透鏡焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，不存在完美的F-Theta系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中，偏離理想行為的偏差都是可以預(yù)期的。借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion中的掃描源，通過測(cè)量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 {3@lvoDT  
    '\qd{mM\r  
    建模任務(wù) [MfKBlA  
    Q2sX7 cE  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-掃描源                                                     IXYSZ)z  
    %[(DFutJY+  
    How to Set Up a Scanning Source #L[-WC]1y  
                                                                                   c,%9Fh?(  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-透鏡系統(tǒng)組件                                                                 r|t ;#  
    1:]iV}OFqR  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-參數(shù)耦合 MW|Qop[  
       s[h& Uv"G  
    Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion ("(:wYR%  
                                                                                       t]?u<KD<  
    系統(tǒng)構(gòu)建塊-失真分析儀 a nK7j2  
                                                                               >vE1,JD)w  
    實(shí)際焦點(diǎn)位置與參考焦點(diǎn)位置之間的偏差表明了F-Theta透鏡的性能。這些信息可以使用Distortion Analyzer計(jì)算。 "YbvI@pD  
     EsR_J/:Qe  
    雖然實(shí)際焦點(diǎn)點(diǎn)位置將由模擬計(jì)算，但參考焦點(diǎn)點(diǎn)位置可以指定為角度本身或其切線上的線性。