3D成像技術實現了二維到三維的升級。智能化制造下，具有3D成像功能的機器視覺系統可以更快，更準確地檢查生產現場的組件。其中表面形貌的3D測量，包括了輪廓的測量以及表面粗糙度的測量，是微納結構測量最為基礎和重要的項目。目前常用的微結構表面形貌測量方法分為接觸式和非接觸式。 =F;.l@:  
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運用非接觸式測量技術的3D光學檢測儀器，大多是基于光學方法（干涉顯微法、自動聚焦法、激光干涉法、光學顯微干涉法等），可對精密零部件的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸實現微納級測量，在微納米結構檢測中有著重要意義。 <E0UK^-}  
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中圖儀器基于3D光學成像測量非接觸、操作簡單、速度快等優(yōu)點，以光學測量技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎，研發(fā)出了常規(guī)尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器等，能提供從納米到百米的精密測量解決方案。 !1G