該應(yīng)用案例說明了兩個不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 .(Ux1.0C
%LC)sSq{H 1. 線柵偏振片的原理 q*R~gEi#yk hb~d4 J=S 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 o7+<sL
2. 建模任務(wù) 2&'u O'K
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全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 < q(i(%
偏振元件的重要特性： RgFpc*.T
偏振對比度 YdvXp/P:|
透射率 *vBhd2HO
效率一致性 `::j\3B&Y-
線格結(jié)構(gòu)的應(yīng)用(金屬) #q34>}O< O b
