該應(yīng)用案例說明了兩個(gè)不同紫外光譜偏振片的參數(shù)優(yōu)化，紫外偏振片具有亞波長線柵結(jié)構(gòu)。兩個(gè)系統(tǒng)具有不同的功能，如193nm工作波長和以及在期望光譜范圍內(nèi)效率的一致性。 =I8^E\O("
Rt.2]eZEJ 1. 線柵偏振片的原理 & iO53I^r/ x~?|bnM#3 帶金屬脊的線柵偏振片（如鋁，鉻等）。 +OaBA>Jh9
2. 建模任務(wù) Ve\.7s
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全部透射光線的嚴(yán)格仿真和結(jié)構(gòu)參數(shù)的優(yōu)化。 X?
