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    [技術(shù)]抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2023-04-20
    該應(yīng)用案例演示了對亞波長尺寸的抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)的嚴(yán)格分析與優(yōu)化。此外，對直徑和高度等結(jié)構(gòu)參數(shù)的影響進(jìn)行了研究，并說明了反射率對波長及入射角變化的敏感度。 lc'Jn$O@  
     +V0uH pm  
    1. 建模任務(wù) 2R1W[,Ga!  
    SWmdU]  
     對全部反射光進(jìn)行嚴(yán)格仿真并對結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。 b. t]p  
    uS&bfx2  
     假設(shè)確定的蛾眼結(jié)構(gòu)作為截錐三維光柵。     5ax/jd~}  
    2. 建模任務(wù)：3維平頂錐  a1j 6-p  
    &-{4JSII  
    3. 3維光柵結(jié)構(gòu)建模 }2{%V^D)r  
    LS \4y&J40  
    DG& kY+  
     VirtualLab提供了不同預(yù)定義的光學(xué)界面用來簡化復(fù)雜3維光柵的設(shè)計(jì)。 (yZ^Y'0  
    Ml)WY#7  
     例如截錐金字塔和錐體可從現(xiàn)有目錄中選擇。 0ogTQ`2Z:  
    gfp#G,/B  
     可將周期性再現(xiàn)功能應(yīng)用于任意形狀光學(xué)界面，用來建立微透鏡陣列或混合透鏡。     <Siz5qQI4  
    4. 結(jié)構(gòu)參數(shù) 0phGn+"R  
     19lx;^b  
    優(yōu)化過程中保持不變的參數(shù)： a{{([uZ  
    1. 高度因子：1(該參數(shù)可用于翻轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)) *W0`+#Dcv  
    2. 底部直徑：125nm D!y Cnq=8  
    3. 周期尺寸：125nm kdv>QZ  
    優(yōu)化過程中變化的參數(shù)： 3 8f9jF%7j  
    1. 高度(頂圓直徑=30nm) w1.KRe{M  
    2. 頂部直徑(高度為1中優(yōu)化后的高 gsZCWT  
     'g$|:bw/  
    5. 3維截錐結(jié)構(gòu)的建模 '\\J95*`  
    [jY_e`S  
    $ A ( #^&  
     VirtualLab提供了不同選項(xiàng)來設(shè)計(jì)3維截錐結(jié)構(gòu)。 ^6obxwVG  
    J\Se wg9  
     如高度、頂部及底部直徑等重要的參數(shù)可非常方便地進(jìn)行調(diào)整。 Qg4qjX](?  
    o05) I2  
     通過“周期化”標(biāo)簽，所有指定的面都可被周期化定義。     q