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VirtualLab Fusion 軟件可以對光學(xué)測量系統(tǒng)進行仿真,如干涉儀、光譜儀以及表面測量器件。 o
i'iZX 4Y59^ 很多光學(xué)測量原理都是基于光的波動特性。典型的器件有: h<&GdK2U+ ^oPFLez56 干涉儀 BT[|f[1 光譜儀&單色儀 ASy?^Jrs5 表面計量系統(tǒng) apm%\dN *Ze0V9$' VirtualLab Fusion 軟件可以對這些測量系統(tǒng)進行仿真及公差分析。許多設(shè)置都是以衍射效應(yīng)、干涉效應(yīng)以及時間和空間相干性為特點。VirtualLab的場追跡引擎進行快速精確的測量系統(tǒng)建模的同時考慮了這些物理光學(xué)效應(yīng)。 |E6_TZ#= Ne<S_u2nT
Fj<*!J$, ir.RO7f +g?uvXC& VirtualLab Fusion軟件的特性: 2EM6k|l5 }'wZ)N@ 基于物理光學(xué)的計量系統(tǒng)仿真 A-4;$
QSm 包含部分相干和衍射效應(yīng) m@kLZimD 尤其對傾斜和偏移的公差分析 ^)]U5+g? 真彩色獲取 [(*Eg!?W= 便于使用的位置概念 hev;M)t 干涉條紋的計算 QD%xmP 測繪掃描系統(tǒng)的仿真
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