測(cè)量系統(tǒng) z %{ Z 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 i"Hec9Ri
1. 系統(tǒng)說明 .|iMKRq 光源 7Vd"k;:X — 氙氣燈(部分相干白光) V TQ V]>| 組件 U>?q |(u — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測(cè)樣品 9W88_rE'e} 探測(cè)器 )Kkw$aQI"d — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) =NLsT.aa 建模/設(shè)計(jì) @TF^6)4f — 光線追跡：初始系統(tǒng)概覽 ?=,4 {(/) — 幾何場(chǎng)追跡Plus(GFT+)： ]=\vl>W 部分相干白光會(huì)減少干涉條紋的對(duì)比度 a,g3 / 掃描樣品的高度輪廓時(shí)光強(qiáng)會(huì)發(fā)生變化 &HBqweI IZ+kw.6e 2. 系統(tǒng)說明 Xmr|k:z 參考光路
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.XDY1~w0 QP/%+[E. 4. 總結(jié) vU,AOK[l{ 邁克爾遜干涉儀裝置白光干涉圖案的研究以及作為高度掃描裝置的應(yīng)用 nF$n[: 1. 仿真 X,-QxV=lc) 以光線追跡對(duì)干涉儀仿真。 \1|]?ZQ\
