摘要 TP{2q51yM  
9wbj}tN\z  
E.eUd4XG  
因?yàn)閮A斜光柵在特定衍射級中具有高效率，故通常被用于將光耦合到光學(xué)光波導(dǎo)中。 如今，它們經(jīng)常應(yīng)用于增強(qiáng)和混合現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對文獻(xiàn)中的某些傾斜光柵的幾何形狀，具體參數(shù)如傾斜角度，填充因子和調(diào)制深度進(jìn)行分析。 此外，本案例還研究了不同入射角對衍射效率的影響。 AX;!-|bW  
}\
0ei(%H  
建模任務(wù) W`v$-o-  
6|n3e,&A2  
衍射效率與相對深度 %%FzBbWAO  
     *}) W>  
在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法（FMM）（也稱為RCWA）進(jìn)行仿真。