機型:OPTORUN1850 $5R2QNg n  
AS膜厚15nm. H3A$YkK [  
外圈AS可達規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達不到，有什么改善方法嗎? gxv^=;2C  
懇求指教!!!

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 B~p%pTS+  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應該就比較均勻了。 @!sK@&ow@%  
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另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 m{\ & k  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸

路過學習看看呢

學習看看呢

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 K;F1'5+=D  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 /%@;t@BK4  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸 (2022-12-01 21:36)  6v`3/o  

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真空度是越低較好，還是越高較好?

聯(lián)系我   YKWQAZWSX ?f?5Kye  

danieltsai06:真空度是越低較好，還是越高較好? (2022-12-05 11:08)  JFT$1^n  

g=Z52y`N<  
真空度代表了蒸發(fā)源的平均自由程，平均自由程影響分布。 sfF