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[求助]蒸鍍AS/AF的問題 [復制鏈接]

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離線danieltsai06

實習生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2022-12-01

機型:OPTORUN1850
AS膜厚15nm.
外圈AS可達規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達不到，有什么改善方法嗎?
懇求指教!!!

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離線xzaxd

實習生

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2022-12-01

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

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danieltsai06

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優(yōu)秀文章，支持！

2022-12-05

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離線ouyuu

論壇版主

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2022-12-01

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。

另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸

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danieltsai06

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2022-12-05

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離線譚健

科學家

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2022-12-01

路過學習看看呢

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離線xiezhizhi

技術(shù)員

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2022-12-02

學習看看呢

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離線danieltsai06

實習生

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2022-12-05

回 ouyuu 的帖子

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 V0n8fez b
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 O2xqNQ`d
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸 (2022-12-01 21:36) 3ouo4tf$H.