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    [求助]蒸鍍AS/AF的問(wèn)題 [復(fù)制鏈接]

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    離線danieltsai06
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2022-12-01
    機(jī)型:OPTORUN1850 KP -g<Zc  
    AS膜厚15nm. T/dchWG  
    外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎? (,[m}Qb?!  
    懇求指教!!!
     
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    離線xzaxd
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2022-12-01
    蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度
    共1條評(píng)分 ，光幣+1
    danieltsai06 光幣 +1 優(yōu)秀文章，支持！ 2022-12-05
    離線ouyuu
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2022-12-01
    蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 .^X IZ  
    如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 kQRNVdiz  
    /<\>j+SC  
    另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。