機型:OPTORUN1850 ~>2uRjvkwB  
AS膜厚15nm. 0> f!S` *  
外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎? E5k
)~P`|  
懇求指教!!!

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 lj4Fg*/Yn  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 g=*jKSZ  
&C 9hT  
另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 NBikYxa  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸

路過學(xué)習(xí)看看呢

學(xué)習(xí)看看呢

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴散泵的方向走的。 IsXNAYj  
如果蒸發(fā)源在靠門的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會影響膜層分布。 \PX4>/d@y  
你可以試著空抽幾分鐘后再開阻蒸 (2022-12-01 21:36)  .1QGNW  

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真空度是越低較好，還是越高較好?

聯(lián)系我   YKWQAZWSX ,GOIg|51  

danieltsai06:真空度是越低較好，還是越高較好? (2022-12-05 11:08)  D5gj*/"  

?N4FB*x  
真空度代表了蒸發(fā)源的平均自由程，平均自由程影響分布。 NuOA'e+i  
真空度越高平均自由程越大，這樣到達(dá)遠(yuǎn)端的材料就越多。 Jm!,=}oP'  
Z?P^Y%ls  
只能說影響分布，具體分布哪部分增多哪部分減少， 8T+9 fh]I  
還要看具體的蒸發(fā)源位置，傘形，傘的高度，排氣口高度等等

換材料，增加厚度

厚度不夠，換材料