機(jī)型:OPTORUN1850 b,~6cDU  
AS膜厚15nm. iVwI}%k  
外圈AS可達(dá)規(guī)水接觸角110度，但是內(nèi)圈都達(dá)不到，有什么改善方法嗎? /+iU1m'(  
懇求指教!!!

蒸發(fā)源抬高試一試？或者增加厚度

蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 W;P8=q  
如果蒸發(fā)源在靠門(mén)的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。 w|lA%H7`J  
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另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。 I($0&Y\De  
你可以試著空抽幾分鐘后再開(kāi)阻蒸

路過(guò)學(xué)習(xí)看看呢

學(xué)習(xí)看看呢

ouyuu:蒸發(fā)源的位置很重要。材料蒸發(fā)后是往擴(kuò)散泵的方向走的。 B=}s7
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如果蒸發(fā)源在靠門(mén)的位置，那么蒸發(fā)的分布應(yīng)該就比較均勻了。
另外真空度也有關(guān)系，真空也會(huì)影響膜層分布。 Yr)<1.K4,M  
你可以試著空抽幾分鐘后再開(kāi)阻蒸 (2022-12-01 21:36)  Xk] uXx:TN  

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真空度是越低較好，還是越高較好?

聯(lián)系我   YKWQAZWSX LGh#  

danieltsai06:真空度是越低較好，還是越高較好? (2022-12-05 11:08)  MSb0J