L*xu<(> K 高數(shù)值孔徑
物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、
顯微鏡等。因此，在聚焦
模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場(chǎng)追跡分析。 通過光場(chǎng)追跡，可以清楚地展示不對(duì)稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照
相機(jī)探測(cè)器和電磁場(chǎng)探測(cè)器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
=.=4P~T& 4l/hh|3@ 
|H`}w2U[j !}Sf?n P# 建模任務(wù) uD=i-IHT
5OUGln5
:+%"kgJNL \K$9r=!( 入射平面波
S]E1+,-* 波長(zhǎng) 2.08 nm
Arg604V3 光斑直徑： 3mm
v~f_~v5J! 沿x方向線偏振
k8 !|WqfP b&AGVWhh 如何進(jìn)行整個(gè)
系統(tǒng)的光線追跡分析？
EwvW: t1 如何計(jì)算包含矢量效應(yīng)的焦點(diǎn)的強(qiáng)度分布？
\qx$ h!< ;D} 8acQ 概覽 &cnciEw1 •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。
(twwDI •接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對(duì)樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。
td*1 0E*q-$P 
C| #GODA 光線追跡模擬 h<)YZ[;x •首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。
bC_qoI< •點(diǎn)擊Go！
K`7(*!HEb •獲得3D光線追跡結(jié)果。
7jss3^.wA en6Kdqe 
z_Em%X %gK@ R3p 光線追跡模擬 ,8~q nLy9 •然后，選擇“光線追跡”（Ray Tracing）作為模擬引擎。
+m|S7 yr' •單擊Go！
0GEM3~~D.? •結(jié)果，獲得點(diǎn)圖（2D光線追跡結(jié)果）。
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Z~&$s 5 )tDgm 光場(chǎng)追跡模擬 m2%OX"#
