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高數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于光學(xué)光刻、顯微鏡等。因此，在聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種鏡頭的光線和光場追跡分析。 通過光場追跡，可以清楚地展示不對稱焦斑，這源于矢量效應(yīng)。 照相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性，并且可以深入了解矢量效應(yīng)。 5nx*D"  
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建模任務(wù) [)I^v3]U  
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入射平面波 %$&eC  
    波長 2.08 nm z\|<h=EU  
光斑直徑： 3mm vFe=AY<Rt|  
沿x方向線偏振 MGF!Z
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如何進(jìn)行整個系統(tǒng)的光線追跡分析？ fz|*Plv  
    如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布？ P'Y(f!%  
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概覽 U<=TAWZ@  
•樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。 <sC(a7i1  
•接下來，我們將演示如何按照VirtualLab中推薦的工作流程對樣本系統(tǒng)進(jìn)行模擬。 JYc:@\   
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光線追跡模擬 ~aotV1
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•首先選擇“光線追跡系統(tǒng)分析器”（Ray Tracing System Analyzer）作為模擬引擎。 XO;_F"H=  
•點擊Go！ l iY/BkpH  
•獲得3D光線追跡結(jié)果。 aUMiRm-  
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