[O52Bn 高數(shù)值孔徑
物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、
顯微鏡等。因此,在聚焦
模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照
相機(jī)探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
&lp5W)D *U69rbYI
KL}o%wfLy g.re`m|Aj 建模任務(wù) c7fQ{"f 3B
u:FFZ
?U;KwS]% (T]< 入射平面波
|`50Tf\J 波長 2.08 nm
mm,be. 光斑直徑: 3mm
8^FAeV# 沿x方向線偏振
^`&?"yj<z g)@d(EYY 如何進(jìn)行整個
系統(tǒng)的光線追跡分析?
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