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衍射式分束器被廣泛用于光學應用中，以產生規(guī)則和不規(guī)則的圖案。所應用的衍射方法允許薄而輕的元件，但也導致它們對入射光線的角度高度敏感。在這個例子中，我們展示了這種效應對給定微結構設計的反射式5×5規(guī)則分束器的影響。該設計在正入射情況優(yōu)化，其性能在不同入射角下被評估，并計算出相應的衍射圖案。之后，針對不同的入射角對設計進行了優(yōu)化，例如通過改變微結構的高度。 r
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建模任務 zN2CI6  
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微結構 C
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