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md18q:AG) F^!O\8PFd 衍射式分束器被廣泛用于
光學應(yīng)用中,以產(chǎn)生規(guī)則和不規(guī)則的圖案。所應(yīng)用的衍射方法允許薄而輕的元件,但也導致它們對入射
光線的
角度高度敏感。在這個例子中,我們展示了這種效應(yīng)對給定微
結(jié)構(gòu)設(shè)計的反射式5×5規(guī)則分束器的影響。該設(shè)計在正入射情況
優(yōu)化,其性能在不同入射角下被評估,并計算出相應(yīng)的衍射圖案。之后,針對不同的入射角對設(shè)計進行了優(yōu)化,例如通過改變微結(jié)構(gòu)的高度。
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