m(5LXH Jnv 這是一個簡單的二維
光柵的案例，它有兩個周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
-]YsiE?r Cv&> :k0V 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度
S偏振光照明的場矢量
7|[Dr@.S 
P偏振光照明的場矢量 a^X% (@Sg
*IF ~ab2 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
' %rn-|) Gg:W%&# 參數(shù)掃描
Tc/<b2 \g 4{ZVw/VP,- Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強(qiáng)度：
