G3.MS7 J 這是一個(gè)簡單的二維
光柵的案例，它有兩個(gè)周期的方形晶格。三維單元晶胞在x和y方向上是周期性的。它包含一個(gè)位于襯底上的菱形(平行六面體)，并被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(菱形
結(jié)構(gòu))、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
R8u i LZd HxgH* IMs 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場分布。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度
S偏振光照明的場矢量
@Qa )@'u 
P偏振光照明的場矢量 ~H0WHqcy
d:x=g i! 后處理傅里葉變換計(jì)算透射
衍射級次的振幅。
0aF&5Lk`y j1LL[+G-"_ 參數(shù)掃描
9m:qQ1[\ ;h
}^f- Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強(qiáng)度：
6J\Yi)v< NVF
