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白光干涉儀是一種非接觸測量技術(shù),用于如表面輪廓或微小位移的高精度測量。利用一個(gè)邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)和一個(gè)氙燈光源在VirtualLab Fusion中仿真了一個(gè)白光干涉儀。建模中考慮光源中有限相干長度等光譜特性,結(jié)果表明只有當(dāng)兩臂的路徑長度基本相同時(shí)才會(huì)出現(xiàn)干涉圖樣。 (\
`knsE! -(FVTWi0 k,>sBk8 7dl]f#uZU 2. 建模任務(wù) 4ed+'-"m >Zk$q~'+
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(q+U5Ls6 ;+XiDEX0} 4. 走進(jìn)VirtualLab Fusion 1_uq46 @)m
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