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作為衍射光學領域廣泛使用的方法，薄元近似（TEA）在計算薄衍射元件的衍射效率時非常有效。 但在另一方面，當衍射光柵的周期小到可以與波長相比較時，這種近似將會變得不準確。 我們選擇了兩種常用的透射光柵輪廓（正弦和閃耀），并應用TEA和嚴格的FMM / RCWA進行分析，用來比較兩種方法的結果。 eD*?q7 p |&ZJ@3 用于光柵建模的TEA與FMM y'J:?!S,Yu
Cbgj@ 4H
 pr62: 我們同時使用TEA和FMM（也稱為RCWA）來分析兩種周期不同的光柵（正弦光柵和閃耀光柵），并比較了兩種方法的結果。 {\vI9cni|" L?=#*4t 閃耀光柵的傅里葉模態(tài)分析 ^3Z7 dIUww
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 H$ NP1^5! 在VirtualLab Fusion中，傅里葉模態(tài)方法（FMM）可用于光柵效率的嚴格分析。 ]k[ Q] :q
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