作為三維形貌測量領(lǐng)域的高精度檢測儀器之一，在微電子、微機械、微光學(xué)等領(lǐng)域，白光干涉儀可以提供更高精度的檢測需求。測量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過程中每一個像素點處于光強最大時的位置，完成3D重建。 1&uk