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白光干涉儀測(cè)三維形貌

發(fā)布:szzhongtu5 2022-06-02 16:56 閱讀:1005
作為三維形貌測(cè)量領(lǐng)域的高精度檢測(cè)儀器之一,在微電子、微機(jī)械、微光學(xué)等領(lǐng)域,白光干涉儀可以提供更高精度的檢測(cè)需求。測(cè)量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場(chǎng)范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描,獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像,找到該過(guò)程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)最大時(shí)的位置,完成3D重建。 Sio^FOTD  
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SuperViewW1白光干涉儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號(hào)處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。其中信號(hào)處理系統(tǒng)作為儀器核心部分,由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器構(gòu)成。利用計(jì)算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù),然后使用專(zhuān)用的數(shù)字信號(hào)協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。重建算法能自動(dòng)濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。 6<X.]"u+E~  
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性能特點(diǎn) NbgK# ;  
1、輪廓/粗糙度測(cè)量功能: E[q:65xl  
高到亞納米級(jí)的高度分辨率,在寬度、高度、角度、直徑等各類(lèi)輪廓尺寸測(cè)量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo); hEUS&`K  
2、自動(dòng)化測(cè)量功能: B_R J;.oH  
自動(dòng)單區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量/自動(dòng)拼接測(cè)量; ere h!  
3、復(fù)合型掃描算法: ;e Iqxe>  
集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法,有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類(lèi)型樣品,無(wú)須切換,操作便捷; do,ZCn  
4、雙重防撞保護(hù)功能: >=Bl/0YH  
Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,雙重保護(hù),多一重安心; "/H B#  
5、環(huán)境噪聲檢測(cè)功能: vge4&H3a&  
環(huán)境噪聲評(píng)價(jià)功能能夠定量檢測(cè)儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值,對(duì)儀器的調(diào)試、測(cè)試可靠性提供指導(dǎo);  PL"u^G`  
6、完善的售后服務(wù)體系: 7`eg;s^  
設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場(chǎng)解決,軟件免費(fèi)升級(jí)。 P:D@ 5  
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應(yīng)用場(chǎng)景
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半導(dǎo)體—輪廓尺寸測(cè)量
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光伏柵線(xiàn)—厚度和寬度測(cè)量
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微流控器件—槽道測(cè)量
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光學(xué)衍射片
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