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關(guān)鍵詞： 傅里葉模態(tài)法，F(xiàn)MM，迭代傅里葉變換算法，IFTA，1維，光柵，二元，改進(jìn)，高數(shù)值孔徑，效率，一致性 Cw42bO
5I/wP qR[ 1. 簡(jiǎn)介 M x{VN
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DP\s-JpI[ 1) 本示例主要介紹了1：6二元衍射分束器元件的嚴(yán)格參數(shù)優(yōu)化。 VeiJ1=hc
U"$Q$ OFs 2. 摘要 Mx< z34(T
pYZ6-s 1) 衍射光束分光器件是一種典型的計(jì)算機(jī)優(yōu)化光柵，用于將單激光光束分束成具有確定功率的預(yù)期衍射級(jí)次的多光束。 DTmv2X 2) 衍射分光器的優(yōu)化一般采用迭代傅里葉變換算法。 WeDeD\zy 3) 然而基于近似值的設(shè)計(jì)步驟對(duì)于大的衍射角度和波長(zhǎng)范圍內(nèi)的特征尺寸是無(wú)效的。 aEU [k>&
4) 該教程主要示范： +13h * 利用迭代傅里葉變換算法對(duì)高數(shù)值孔徑1：6光束分光器的優(yōu)化。 Y$xO&\&) 利用傅里葉模態(tài)法對(duì)光束分束器進(jìn)行嚴(yán)格的電磁場(chǎng)分析。 Q|QVm,m 自定義優(yōu)化函數(shù)用于衍射級(jí)次評(píng)價(jià)及優(yōu)化。 ^?PU:eS 使用參數(shù)優(yōu)化改善光束分束器表面并使用傅里葉模態(tài)法進(jìn)行分析。 QK _1!t3
f ?8cO#GU 3. 建模任務(wù) w1HE^
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'f&o%5] 1) 1：6高數(shù)值孔徑分束器 fm$eJu r>73IpJI 2) 照明波 K$OxeJP?F 平面波； $jT& ]p 真空波長(zhǎng)：635.63nm； 4w,=6|#
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