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關(guān)鍵詞： 傅里葉模態(tài)法，F(xiàn)MM，迭代傅里葉變換算法，IFTA，1維，光柵，二元，改進(jìn)，高數(shù)值孔徑，效率，一致性 ?! 6Itkg
d#H9jg15e 1. 簡介 ?(R3%fU
A>1$?A8Q 1) 本示例主要介紹了1：6二元衍射分束器元件的嚴(yán)格參數(shù)優(yōu)化。 cN8Fn4gq
>m,hna]R Z 2. 摘要 Oo}h :3?
O 'mcN* 1) 衍射光束分光器件是一種典型的計(jì)算機(jī)優(yōu)化光柵，用于將單激光光束分束成具有確定功率的預(yù)期衍射級次的多光束。 _wS=*-fT 2) 衍射分光器的優(yōu)化一般采用迭代傅里葉變換算法。 "+-
'o+ 3) 然而基于近似值的設(shè)計(jì)步驟對于大的衍射角度和波長范圍內(nèi)的特征尺寸是無效的。 DylO;+
4) 該教程主要示范： q!eE~O;A 利用迭代傅里葉變換算法對高數(shù)值孔徑1：6光束分光器的優(yōu)化。 [eDrjf3m 利用傅里葉模態(tài)法對光束分束器進(jìn)行嚴(yán)格的電磁場分析。 7R L J 自定義優(yōu)化函數(shù)用于衍射級次評價(jià)及優(yōu)化。 JfIXv 使用參數(shù)優(yōu)化改善光束分束器表面并使用傅里葉模態(tài)法進(jìn)行分析。 : ~vodh
'\tI| 3. 建模任務(wù) ~\jP+ [>M'
VP~2F
E 1) 1：6高數(shù)值孔徑分束器 *;Mi/^pzK Qs6Vu)U= 2) 照明波 Og/aTR<;= 平面波； 'z(Y9%+a 真空波長：635.63nm； &aLTy&8Fv 偏振態(tài)：x方向線偏振光； O -1O@: }c 入射角：0°； A iM ukd, 光源場直徑：無窮大； $Es\ld 在熔融石英上定義光源場 10Ik_L='
"w'pIUQ3, 4. 期望的衍射級次分布 b0{i +R
&*=!B9OBI 1) 分束器其實(shí)是一個(gè)所謂的偶級次缺失光柵。僅使用了奇數(shù)次級次，且其6個(gè)奇數(shù)級次具有相同的強(qiáng)度； 6]?mjG6
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