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薄膜測(cè)量設(shè)備(膜厚、n、k等)

發(fā)布:george1977 2007-03-15 10:44 閱讀:3414
美國(guó)Filmetrics公司F20系列薄膜測(cè)量設(shè)備:可精確快速測(cè)量各種光學(xué)半導(dǎo)體薄膜的厚度、折射率及消光系數(shù)等。 VX+:C(m~  
精度:0.4%或1埃 ZDl6 F`  
測(cè)量速度:秒級(jí) Er