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科學(xué)家在石墨烯上實現(xiàn)低于10納米級別光刻

發(fā)布:cyqdesign 2021-09-21 10:16 閱讀:1029
石墨烯,屬于二維材料,是近來物理學(xué)和材料技術(shù)領(lǐng)域最重要的發(fā)現(xiàn)之一。石墨烯比任何其他已知材料更堅固、更光滑、更輕,并且在導(dǎo)熱和導(dǎo)電方面更好。但這還不是全部:石墨烯最獨特的功能在于其可編程性。通過在材料上進行刻蝕,研究人員可以將其制成新型電子產(chǎn)品的元件,用于計算和存儲。 D9-Lg%  
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在DTU Nanolab 中,研究人員所使用的電子束光刻系統(tǒng)可以將細(xì)節(jié)寫到 10 納米。計算機計算可以準(zhǔn)確預(yù)測石墨烯中圖案的形狀和大小,以創(chuàng)造新型電子產(chǎn)品。它們可以利用電子的電荷和量子特性,例如自旋或谷自由度,從而以低得多的功耗進行高速計算。然而,這些計算要求的分辨率比最好的光刻系統(tǒng)所能提供的分辨率更高:原子分辨率。 ~G `J r  
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日前,丹麥技術(shù)大學(xué)(DTU) 和 Graphene Flagship 研究人員將納米材料圖案化藝術(shù)提升到了一個新的水平,直逼原子尺度。 O&'/J8  
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研究人員納米材料六邊形氮化硼放在想要圖案化的材料頂部,然后用特定的蝕刻配方鉆孔。若要制作一個直徑為20納米的圓孔,則二維材料上的孔可以縮小至10納米。借助這項技術(shù),廠家可以生產(chǎn)平面電子元透鏡——一種超緊湊的光學(xué)透鏡,可以在非常高的頻率下進行電氣控制。這將成為未來通信技術(shù)和生物技術(shù)的重要組成部分。 5AOfp2O  
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目前,研究人員尚未弄清這一“超分辨率”刻蝕技術(shù)背后的機制。不過,這對科學(xué)家來說是一項令人興奮且非常有用的技術(shù)。同時,這也有助于推動二維納米電子學(xué)和納米光子學(xué)的極限。 a)9rs\Is{  
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(來源:石墨烯網(wǎng))
關(guān)鍵詞: 石墨烯
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