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摘要 z :jF) N 0(f;am0y 光柵的衍射效率分析是光柵的典型建模任務(wù)。效率可由瑞利系數(shù)計(jì)算得到，對(duì)于光柵的每個(gè)衍射階次都給出了這兩個(gè)量。VirtualLab Fusion可通過(guò)全矢量的傅里葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）來(lái)計(jì)算效率和瑞利系數(shù)。借助光柵階次分析器，可以以各種方式顯示不同階次的效率和瑞利系數(shù)。 mBkQ
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G'C ^C[ _W 光柵詳細(xì)說(shuō)明 #@"rp]1xv
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 O Wfj<#}t+ Z'm%3 •為了演示一維光柵的光柵分析器，我們使用帶HR涂層的正弦光柵。 0nnq/u^ •可以在堆棧中指定光柵參數(shù)，并且在光柵組件的編輯對(duì)話框中訪問(wèn)該參數(shù)。 buyz>IC P !7*/lG 光柵階次分析器設(shè)置 cU[ pneY .u3W]5M| •定義光柵結(jié)構(gòu)后，可以配置光柵階次分析器。 HW,55#yG •可以指定各種輸出選項(xiàng)。 kakWXGeR •可以在光學(xué)設(shè)置視圖中雙擊它的元件打開(kāi)分析器的編輯對(duì)話框。 _JO @O^Ndd /`@> v$oo
 bdh gHjz %4K#<b"W 常規(guī)設(shè)置 T=Q{K|JE
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 L <]P K4 Ap9w H[H •在“常規(guī)”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否分析透射率和/或反射率。 D+PUi! •另外，可以指定是否要評(píng)估透射、吸收和反射的總和，以及是否要顯示極坐標(biāo)圖。 hG3Lj7)UH ~,7R*71 單個(gè)階次設(shè)置 ..mz!:Zs0 8[IifF1M=&
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R;2 -/MT- •在“單個(gè)階次”選項(xiàng)卡中，可以選擇是否記錄單個(gè)階次的信息。 z KT<QM!` •如果想使用VirtualLab Fusion的參數(shù)運(yùn)行或參數(shù)優(yōu)化來(lái)分析和優(yōu)化特定階次的光柵，則此選項(xiàng)非常有用。 $>m<+nai' a,9GSKXo1 單個(gè)階次設(shè)置 Nuq/_x #+nv,?@  8#B;nyGD1I
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 Sp:de,9@ (E[hl 探測(cè)器標(biāo)簽頁(yè)中的輸出 [wYQP6Cyy
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 Jp iKZG@L 8G<.5!f7`N •如果在光學(xué)設(shè)置中處理了光柵階次分析器，則單階次輸出值將記錄到檢測(cè)器結(jié)果選項(xiàng)卡中。 \zyGJyy. •這些值在參數(shù)運(yùn)行和參數(shù)優(yōu)化中也可用。 z8MYgn 7
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v 極坐標(biāo)圖中的輸出 XE\bZc 4{E =wg^p  4ebGA g
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