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\U;4\ 這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下,線型的橫截面具有梯形形狀,它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質(zhì)選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 w='1uV<6 J.Mj76\_ 光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側(cè)以193 nm波長垂直入射的結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度。 Z*S
9pkWcF S偏振照明的近場強度 `l,=iy$ P偏振照明的近場強度 XzI c<81Z 傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 H|_^T.n?E b:3n)-V{
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