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\O;/wf0Hg 這是一個一維周期線光柵的簡單例子。周期單元包含了光柵的2D橫截面。在這種情況下，線型的橫截面具有梯形形狀，它位于襯底上并被背景材料包圍。示例中的材質選擇為鉻(線)、玻璃(襯底)和空氣(背景)。 Z}>F
V~4 vxC];nCC# 光柵由s偏振和p偏振的平面波照射。JCMSuite計算近場分布。下圖顯示了從襯底一側以193 nm波長垂直入射的結構內的近場強度。 B&B: P S偏振照明的近場強度 j3`YaWw P偏振照明的近場強度 BN%cX 2j
傅立葉變換后處理計算透射衍射級的振幅。 +L.D3
ITqAy1m@C 參數(shù)掃描 YG:^gi
Y~{<Hs Matlab®腳本data_analysis/run_can_illlightation.m提供對入射角度的掃描。 ZN;ondp4
NQZ /E )f 它會生成以下曲線圖，顯示反射和透射衍射級的強度： =SeQ- H# 8
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