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- 注冊時間2020-06-19
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摘要 8 Y_lQfJa wScr:o+K>L 復雜光學光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用，如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM，或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面，用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀，從而產(chǎn)生復雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 kG5Uc8 3#G
 BY':R-~( 1. 本案例主要說明： /]of @
如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu)，通過： GcG$>&, - 基于介質(zhì)的定義類型 Z*IW*f&0>1 - 基于表面的定義類型 1k`gr&S 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 1@9M[_<n5 注意：在VirtualLab中，具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此，層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 6n;? :./
ZiRCiQ/? 2. 光柵工具箱初始化 x`I"%pG 初始化 `XM0Mm% - 開始→ -j@IDd7 光柵→ 3S1{r
)[j 一般光柵光路圖(3D光柵) |{RCvm
' Er\ 68
 5RP 5 %U 注意：對于特殊類型的光柵，如柱狀光柵，可以直接選擇特定的光路圖。 2 4 sQon L* ScSxw 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 |XMWi/p 首先，必須先定義基底的厚度與材料 b;nqhO[f} 在VirtualLab中，光柵結(jié)構(gòu)有一個所謂的堆棧進行定義 bP,K a 堆�？梢愿綄僭诨椎囊粋�(cè)或兩側(cè)。 ,(]k)ym/ 例如，堆棧選擇附屬在第一表面。 deJ/3\t  h>p,r\X 基于介質(zhì)的定義類型 )\7Cp
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