1.服務產品簡介 AfY(+w6!K  
本服務著重解決企業(yè)在SiC單晶生產、外延生長、芯片加工中的原材料品控、單晶生長質量測試、科研項目驗收過程中遇到的檢測分析的需求。通過服務能夠幫著客戶一站式、全參數、低成本、高效率的實現產品的快速檢測。同時對于高端的一些檢測項目，平臺也可以根據客戶需求定制檢測方法、標準和方案。具體服務內容包含：電阻率、參考面取向和位置、參考面長度、晶型確定、微管密度、結晶質量、六方空洞和裂紋、位錯密度、多型及體雜質含量。 Eod2vr=Q  
2.產品優(yōu)勢 !K@yB)9  
本產品專門針對SiC單晶進行開發(fā)的測試解決方案，具有一站式覆蓋、全參數測量、低成本、高效率，能夠滿足客戶對質量、交期、價格的綜合要求，其他同行相對比較單一、服務周期長、價格成本高。另外通過測試評價能夠給出系統(tǒng)的參數指標的優(yōu)化和整改意見，平臺SiC方面的專家資源優(yōu)勢可以幫助企業(yè)解決具體技術問題和指導工作。 1"e=Zqn$)  
3. 檢測內容主要涉及以下幾方面的分析 g>Z1ZK0;M  
1）晶體完整性：微管密度、結晶質量、六方空洞和裂紋、位錯密度、多型； vuK 5DG4  
2）晶型：晶型確定； 'z\F-Ttq  
3）雜質：體雜質含量； Zdak))7  
4）電學測試：電阻率； >Te{a*`"m:  
4.單晶檢測解決方案 D~{)\;w^!  
SiC單晶檢測解決方案A級 H
1@"Yg8  
SiC單晶檢測費12萬 0r@rXwz  
A級-10萬 aCTVY1  
參照同行業(yè)市場服務價格 U]
P;X~$!  
SiC單晶檢測解決方案B級 4gZN~_AI<  
SiC單晶檢測費6萬 5|/vc*m_0'  
B級-5萬 81KtK[?b  
參照同行業(yè)市場服務價格 jVA xa|S  
SiC單晶檢測解決方案C級 j@:LMR>  
SiC單晶檢測費3.5萬 n1LS*-@  
C級-3萬 4x3`dvfp/  
參照同行業(yè)市場服務價格 ZqhINM*Rm  
5.主要客戶 /2z2a-!r  
天科合達、中科鋼研、世紀金光、天域半導體、中科晶電、北京航空航天大學、中科院物理所等共計30多家單位的50次檢測。 gi`ZFq@  
6.主要應用 ;P{ *'@  
應用于襯底生產、外延生長、芯片加工中的原材料品控、單晶生長質量測試等領域。利用眾多單晶材料檢測設備為企業(yè)提供完善的測試分析服務。 ?,!qh  
A.光學表面分析儀是針對SiC單晶片與外延片行業(yè)的表面缺陷的檢查分析儀器。 _6|b0*jv'&  
B.平整度測試儀用來測試TTV、TIR、LTV、BOW、WARP等晶片面型參數 D`gY6wX  
C.原子力顯微鏡用來測量樣品表面的粗糙度。 ;Rt,"W)  
D.偏光顯微鏡用來測量樣品表面缺陷。 Z]6D0b  
E.HORIBA公司的拉曼光譜儀用來繪制單晶材料晶型分布圖。