請教下群里的大佬，我在做PMMA鍍分光膜的時(shí)候，9層膜系  ti2o5  大概250nm  科達(dá)公司的硅鋁混合物大概500nm，速率分別為2.5和5.0   離子源是霍爾源，不加溫，鍍后測溫儀顯示50度，但是放上去的片子還是會(huì)有輕微變形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我該怎么調(diào)整呢？ ,}ECF>  
外面采購的鍍膜四個(gè)側(cè)邊沒有電子槍蒸鍍產(chǎn)生的擴(kuò)散印記，除了電子槍蒸鍍還有什么辦法做這個(gè)產(chǎn)品的AR膜和分光膜嗎？

我看到好多資料有提到退火一說，這個(gè)我鍍前鍍后  80度  2h也沒有什么變化

離子源和電子槍對板子都有加熱作用。 GT