請教下群里的大佬，我在做PMMA鍍分光膜的時候，9層膜系  ti2o5  大概250nm  科達公司的硅鋁混合物大概500nm，速率分別為2.5和5.0   離子源是霍爾源，不加溫，鍍后測溫儀顯示50度，但是放上去的片子還是會有輕微變形呢？基材尺寸是80*80*1.0的，后面我該怎么調(diào)整呢？ [0J0<JnK  
外面采購的鍍膜四個側(cè)邊沒有電子槍蒸鍍產(chǎn)生的擴散印記，除了電子槍蒸鍍還有什么辦法做這個產(chǎn)品的AR膜和分光膜嗎？

我看到好多資料有提到退火一說，這個我鍍前鍍后  80度  2h也沒有什么變化

離子源和電子槍對板子都有加熱作用。 \idg[&}l}  
還有就是膜本身的應力作用也會造成板子變形。 meIY00  
你兩面都鍍一下看看

ouyuu:離子源和電子槍對板子都有加熱作用。 ks'25tv}F  
還有就是膜本身的應力作用也會造成板子變形。 "K~+T\^|k  
你兩面都鍍一下看看 (2021-02-10 03:29)  o),i2  

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我現(xiàn)在嘗試了很多種辦法，最可疑的是我低溫不加離子源也是會變形的，我現(xiàn)在懷疑冷卻水流速壓力不夠，0.3是否需要提高到0.4，另一則，我腔體、門上和工架傘都包了錫紙了，是不是間接的把輻射都給了鏡片了，不知道有影響不

片子尺寸大厚度薄，應該是膜層應力作用導致片子變形

http://www.lslt888.com/job.php?action=download&aid=105794 MdZ7Yep  
關于應力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。

ouyuu:http://www.lslt888.com/job.php?action=download&aid=105794 w*#TS8 \  
關于應力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  bq<QUw=]q&  

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非常感謝

ouyuu:http://www.lslt888.com/job.php?action=download&aid=105794 htMsS4^Kvd  
關于應力你可以看下資料，并不是溫度越低越好。 (2021-02-19 23:39)  `^wF]R  

@UkcvhH  
這個文章我閱讀過了，目前已經(jīng)解決了這個難題，影響的因素很多，么辦法說準確的就是降低離子能量就一定會好，一定程度和基底的殘余應力有相當?shù)年P系。

一般這種情況我們會兩面鍍，這樣兩面應力能夠抵消。

對，進行兩面鍍膜，還有就是匹配好基板和膜層間的應力