用光學(xué)功能薄膜制成的種類繁多的光學(xué)薄膜器件，已成為光學(xué)系統(tǒng)、光學(xué)儀器中不可缺少的重要部件。其應(yīng)用已從傳統(tǒng)的光學(xué)儀器發(fā)展到天文物理、航天、激光、電工、通信、材料、建筑、生物醫(yī)學(xué)、紅外物理、農(nóng)業(yè)等諸多技術(shù)領(lǐng)域。 C[5dhFZ  
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分為：基本光學(xué)薄膜、控光薄膜、光學(xué)薄膜材料、基本光學(xué)薄膜 y+KAL{AGK  
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基本光學(xué)薄膜是指能夠?qū)崿F(xiàn)分光透射、分光反射、分光吸收和改變光的偏振狀態(tài)或相位，可用于各種反射膜、增透膜和干涉濾波片的薄膜，它賦予光學(xué)元件各種使用性能，對保證光學(xué)儀器的質(zhì)量起到?jīng)Q定性的作。 e^;%w#tEqI  
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1.1 減反膜(增透膜) zO@>)@~  
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減反膜是用來減少光學(xué)元件表面反射損失的一種功能薄膜。它可以有單層和多層膜系構(gòu)成。單層膜能使某一波長的反射率為零，多層膜在某一波段具有實際為零的反射率。在應(yīng)用中，由于條件和應(yīng)用對象不同，其所用的減反膜的類型與諸多因素有關(guān)，例如基片材料、波長領(lǐng)域、所需特征及成本等。 i.\ e/9]f  
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a、單層減反膜 X4{<{D`0t8  
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為減少光的反射消耗，增大光線的透射率，常在玻璃的表面上沉積一層減反膜。其原理是光的干涉現(xiàn)象。只要膜的折射率小于玻璃基片的折射率，就能都實現(xiàn)光的減反射作用。 8H|ac[hXK2  
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b、多層減反膜 6OoOkN
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多層減反膜主要是為了改進(jìn)單層減反膜的不足，進(jìn)一步提高減反膜的效果，因而采用增加膜層層數(shù)的措施。 )sNPWn8<Uy  
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1.2 反射膜 ci/qm\JI<<  
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反射膜的作用與減反膜相反，它是要求把大部分或幾乎是全部入射光反射回去。如光學(xué)儀器、激光器、波導(dǎo)管、汽車、燈具的反射鏡，都需要沉積鍍制反射薄膜。反射膜有金屬膜和介質(zhì)膜兩種a、金屬反射膜 x=+>J$~Pb  
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金屬反射膜具有很高的反射率和一定的吸收能力。金屬高反射膜僅用于對膜的吸收損耗沒有特殊要求的場合。 Cc;8+Z=a?G  
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b、介質(zhì)反射膜 t#3_M=L  
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金屬高反射膜的吸收損失較大，在某些應(yīng)用中，如多光束干涉儀、高質(zhì)量激光器的反射膜，就要求沉積低吸收、高反射的全介質(zhì)高反射膜。 qDU4W7|T`  
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2.控光薄膜 @BG].UJo  
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