近日，中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所薄膜光學(xué)實(shí)驗(yàn)室在1064nm準(zhǔn)連續(xù)激光退火氧化銦錫（ITO）薄膜研究中取得新進(jìn)展，發(fā)現(xiàn)準(zhǔn)連續(xù)激光退火誘導(dǎo)ITO薄膜表面形貌的變化和溫升的依賴關(guān)系。相關(guān)成果發(fā)表在《光學(xué)材料快報(bào)》（Optical Materials Express）上。 Y2$`o4*3  
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ITO是最重要的透明導(dǎo)電電極材料之一，廣泛應(yīng)用于太陽能電池、電光開關(guān)、液晶器件等光電器件中。在ITO制備及退火中，溫度是影響ITO薄膜性能的關(guān)鍵因素之一。適當(dāng)?shù)耐嘶饻囟瓤梢蕴岣弑∧さ慕Y(jié)晶度、表面粗糙度以及光電性能。然而，過高的溫度，尤其是激光誘導(dǎo)產(chǎn)生的快速溫升，導(dǎo)致膜層開裂、熔化、蒸發(fā)、燒蝕等損傷。ITO薄膜這些熱現(xiàn)象意味著可以通過優(yōu)化激光退火溫度實(shí)現(xiàn)對ITO薄膜特性的提升。 oU6g5  
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