摘要：離軸照明是現(xiàn)代投影光刻中的一種重要的分辨率增強技術(shù)。針對不同的照明模式要求，提出了一種利用自 由曲面來實現(xiàn)離軸照明的方法。根據(jù)入射面和目標(biāo)面之間的坐標(biāo)拓撲和能量守恒關(guān)系，利用數(shù)值求解法得出自相 應(yīng)的折射式自由曲面并對結(jié)果進行模擬，分別設(shè)計了環(huán)形、二極和四極照明，照明效率均達到90%以上，照明均勻 性均優(yōu)于93%。結(jié)果表明，可以滿足193nm投影光刻照明系統(tǒng)的設(shè)計要求。 m